「水の精」から「産業(yè)の塩」
　水晶は、昔から「水の精」といわれその透明性?硬さなどから尊重され、その神秘性から魔法の玉などとして用いられてきました。現(xiàn)在でも研磨して、婦人のネックレスや指輪として貴重視されています。このような水晶が形を変え我々の身の回りに石英晶振水晶製品として、多く使われています。そして貴重な天然水晶に代え、人工水晶より作られた水晶デバイスとして世に送り出されて、産業(yè)の米と言われる半導(dǎo)體と共になくてはならない存在となり、「産業(yè)の塩」と呼ばれています。

圧電現(xiàn)象

逆圧電現(xiàn)象

クォーツ時計(jì)
　最も身近で利用されているのが、クォーツ時計(jì)です。昔、機(jī)械式時計(jì)でしたが、クォーツ時計(jì)は300倍以上の高精度を得ています。これは水晶振動子とICの発明の賜物であり、水晶振動子の代表的な周波數(shù)として32.768kHzがあります。この32768HzをICにより1/2に分周し続けると、時計(jì)の基準(zhǔn)の1秒1パルス(1Hz)ができてきます。その1パルスが秒針を1秒進(jìn)めます。

石英水晶の圧電現(xiàn)象と役割
　1880年にフランスの物理學(xué)者キューリー兄弟が発見したのが圧電現(xiàn)象です。
(1) 水晶の結(jié)晶に機(jī)械的に圧力をかけると、表面に電気が発生します。(圧電現(xiàn)象)
(2) 逆に、電気(電圧)をかけると機(jī)械的に歪を発生します。(逆圧電現(xiàn)象)
　身近な圧電現(xiàn)象の例として、ライター?ガスコンロなどに使用されている著火式です。ボタンを押す、または回転させカチッとさせることで圧電セラミックに機(jī)械的圧力を加えることになり、その結(jié)果電気(火花)が発生して、著火させることができます。このような現(xiàn)象を水晶振動子は利用しています。
　圧電現(xiàn)象が確認(rèn)できる材料は、水晶のほかにセラミックなどがありますが、水晶はそれらの材料と比べて、手軽で最も精度が高く安定した周波數(shù)が得られるため、あらゆる機(jī)器の必要不可欠な電子部品として、利用されるようになりました。水晶は正確な機(jī)械振動を電気の信號に変え、各種ICの同期基準(zhǔn)信號、映像用色基準(zhǔn)信號、時計(jì)用などに使われています。高性能コンピュータも水晶デバイスがないと「ただの箱」と化し、現(xiàn)代社會ではなくてはならない基幹部品となっています。このような水晶デバイスには水晶振動子、水晶発振器、水晶フィルタ、SAWデバイス、光デバイスなどがあります。

水晶振動子 -Quartz crystal unit-

切斷方向

振動モード

　水晶は結(jié)晶學(xué)的には三方晶系、點(diǎn)群32に屬します。(3回の回映軸と2回の対稱軸を持つ)物理的な性質(zhì)としては、密度2.654g/cm³　モース硬度7、α-β相転移溫度は573℃で、この溫度でα-石英から圧電性のない六方晶のβ-石英となります。水晶振動子は、ATカットや、GTカットのように室溫付近から広い溫度範(fàn)囲に亙って零溫度係數(shù)を有するため周波數(shù)溫度特性に優(yōu)れています。また物理的、化學(xué)的に非常に安定している物質(zhì)であるためエージング特性にも優(yōu)れ、その周波數(shù)変化は極めて小さな値となります。これらの優(yōu)れた周波數(shù)安定性で、攜帯電話や無線機(jī)等の通信機(jī)器やテレビ、ビデオ、デジタルカメラ、パソコン等の民生機(jī)器に大量の情報(bào)を同時に素早く処理するための正確な基準(zhǔn)信號として使用されています。また、腕時計(jì)やストップウォッチのように時間や時刻の基準(zhǔn)としても広く利用されています。

水晶片の切斷方位、周波數(shù)、振動モード
　水晶振動子は、その結(jié)晶性と圧電性から色々な振動モードが存在し、その幾つかは零溫度係數(shù)を有します。周波數(shù)は、厚みすべり振動子(ATカット、BTカット)のように厚みがパラメータになる振動子、音叉型水晶振動子のように音叉の腕の長さと幅がパラメータになる振動子、輪郭すべり(CTカット、DTカット)のように正方形の一辺の長さがパラメータになる振動子等、振動モードによって周波數(shù)を決定するパラメータが異なります。これらの加工は機(jī)械的に加工する方法と化學(xué)的に加工する方法の2種類に大別されます
　振動モードはそれぞれ周波數(shù)範(fàn)囲や、電気的性能が異なりますので使用されるモジュールによって使い分けることが必要です。

水晶発振器 -Crystal oscillator-

　水晶発振器はその機(jī)能により幾つかの種類に分類されます。 (注: 文中の「X’tal」はCristalの略記です)

SPXO (Simple Packaged X'tal Oscillator)
　SPXOは単にXOと呼ばれる事もあります。水晶振動子はフィルタやセンサとしての用途もありますが、回路中では発振素子として多く機(jī)能します。SPXOは水晶振動子と発振回路を一體化した最もシンプルな発振器です。水晶振動子には溫度特性がありますが、同様に発振回路にも僅かな溫度特性があります。また、水晶振動子を特定の発振回路と一體化する事により、発振周波數(shù)を左右する負(fù)荷容量も決まった値となりますので、SPXOを使用することにより、これらの要素の総合特性を把握することができます。特に高い周波數(shù)ではアナログ設(shè)計(jì)の煩わしさなく、水晶発振を利用することができます。

TCXO (Temperature Compensated X'tal Oscillator)
　TCXOは溫度補(bǔ)償型水晶発振器で、水晶振動子の持つ溫度特性と正反対の回路特性を組み合わせる事により、水晶振動子単體よりも遙かに高い安定度の信號を出力します。近年では回路がIC化されることにより、大きさも水晶振動子と殆ど変わらないほど小さくなっています。TCXOは身近なところでは、攜帯電話の多くに使われています。

VCXO (Voltage Controlled X'tal Oscillator)
　VCXOは発振器の出力周波數(shù)を外部から加える電圧でコントロールできるものです。PLL回路によく使われ、通信の中継裝置や様々な産業(yè)機(jī)器の中で使われます。

OCXO (Oven Controlled X'tal Oscillator)
　OCXOは水晶発振器で最も高精度な品種であるため、高安定発振器と呼ばれることもあります。水晶振子の溫度特性が一直線でなく、溫度に対して弧を描くことを利用して高溫域で溫度傾斜がゼロになる水晶振動子を用い、ヒーターで水晶振動子をその溫度に一定に保つものです。他の水晶発振器に比べて消費(fèi)電流が大きくなるため、攜帯電話の基地局や放送機(jī)器、測定器などに使われています。

水晶発振器の種類と周波數(shù)安定度

水晶フィルタ -Crystal filter-

水晶フィルタの実現(xiàn)可能範(fàn)囲

　水晶フィルタは、溫度変化に対して周波數(shù)が安定で急峻な共振特性の水晶振動子を利用したフィルタで、公稱周波數(shù)が數(shù)kHz?數(shù)百M(fèi)Hzで通過帯域幅が數(shù)十Hz?數(shù)百kHzの帯域通過フィルタが、無線通信機(jī)器や有線伝送裝置などに使用されています。
水晶フィルタは、次のディスクリート型水晶フィルタとモノリシック水晶フィルタに大別されます。

ディスクリート型水晶フィルタ
　一般水晶フィルタとも呼ばれ、一つ以上の水晶振動子とコイルやコンデンサを組み合わせてケースに収めたもので、回路構(gòu)成は主にヤーマン回路が用いられます。

モノリシック水晶フィルタ(MCF)
　1枚の水晶板上に2対以上の電極を配置して電極間の音響的結(jié)合による複數(shù)の共振特性を利用したフィルタで、ディスクリート型に比べて設(shè)計(jì)及び製造上の制約が大きいため、実現(xiàn)可能な特性(公稱周波數(shù)?通過帯域幅など)の範(fàn)囲は狹いが、一枚の水晶板が複數(shù)の水晶振動子として働き、又コイルが必要なヤーマン回路を用いないため、小型?軽量などの特長をもっています。

SAWデバイス -Surface acoustic device-

　日本語では弾性表面波素子と呼ばれています。弾性表面波とは弾性體(固體)の表面を伝わる波のことです。

SAWの特徴
(1) 振動モードのなかでも高周波(60MHz以上)を扱う。
(2) 電極が櫛形電極となっており獨(dú)特な形狀をしている。

SAWの勵振方法
　SAWは、獨(dú)特な形狀の圧電基板上に配置したIDTに電界をかけて勵振します。IDTは(Interdigital Transducer)の略で、日本語では櫛形電極と呼ばれています。IDTの中心周波數(shù)を f 、IDTの周期を 2d 、表面波の伝播速度を v とすると
　　　v=2d×f
という関係があります。表面波の伝播速度は基板材料により異なる値をもち、水晶のSTカットの場合は約3100m/secの値を持ちます。

SAWの使用範(fàn)囲について
　SAWデバイスは民生機(jī)器のフィルタや共振器として使用されます。


IDTの中心周波數(shù)と伝搬速度との関係	SAWの勵振方法

光デバイス -Optical Device-

　水晶には一本の光線を二本に分けたり光の振動方向を変えたりする働きがあります。これを複屈折性、偏向性、旋光性があると表現(xiàn)します。このような性質(zhì)を利用した光デバイスとしてはビデオカメラやディジタルカメラに用いられる光學(xué)ローパスフィルタ、光ディスクや光磁気ディスク裝置に用いられる位相板(波長板)があります。

光學(xué)ローパスフィルタ(複屈折板)
　CCDまたはCMOSセンサ1個を利用したカラーカメラでは色分解フィルタを使用してカラーを再現(xiàn)するため、ある程度以上の細(xì)かさの縞模様を移すと実際には色が著いていないのに出力映像に色が著いてしまいます。このような障害を取り除くために一本の光線を二本にする複屈折板(光學(xué)ローパスフィルタ)を使用しある程度以上の細(xì)かさの縞模様をぼかします。縞模様が細(xì)かい→(空間)周波數(shù)が高い。縞模様が粗い→(空間)周波數(shù)が低い。

位相板(波長板)
　光軸に垂直に入射する光は進(jìn)行方向が同じで振動方向が90°異なる光(常光線と異常光線:速さが異なる)として水晶板中を進(jìn)みます。水晶板の厚さを変えることにより二本の光が水晶板から出るときの位相差を変えると偏光の狀態(tài)を変えられます。(直線偏光、円偏光、楕円偏光)この性質(zhì)を利用してCD、DVDなどの光ピックアップに1/4波長板や1/2波長板として水晶が利用されています。

光學(xué)ローパスフィルタの原理図


1/4波長版の原理図	1/2波長版の原理図

人工水晶 -Synthetic quartz Crystal-

大型育成爐模式図

　水熱合成法によって育成されたアルファ水晶の単結(jié)晶。右又は左水晶でアズグロウン狀態(tài)又はランバード加工された狀態(tài)の人工水晶。

人工水晶の育成方法
　オートクレーブと呼ばれる高溫高圧容器を用い、水熱合成法により製造されます。その原理は、地殻內(nèi)部で天然水晶が成長する過程に似た環(huán)境を人工的に再現(xiàn)するもので、非常に短期間に、しかも高歩留で水晶結(jié)晶を得ることが出來ます。
　オートクレーブは対流制御板により上下2室に分けられます。上部は結(jié)晶成長域で種子結(jié)晶が取り付けられ、下部は溶解域で、原料である天然水晶(ラスカ)がセットされます。その後、オートクレーブ內(nèi)自由空間の約80%に希アルカリ溶液(水酸化ナトリウムまたは炭酸ナトリウム)を注入し、蓋をしてヒーターにより加熱します。オートクレーブ上部溫度を約300℃、下部溫度を約400℃に加熱すると溶液の膨張圧縮作用により、圧力は140MPa程度まで上昇します。
　このような高溫高圧環(huán)境下において、下部の原料はアルカリ溶液に溶解を始めSiO2の飽和溶液となります。この飽和溶液は熱対流により上昇しオートクレーブの溫度差により上部成長域で過飽和狀態(tài)となり種子結(jié)晶上に析出?成長を始めます。
　その後、溶液はオートクレーブ下部に下降して加熱され、再び原料を溶解して対流により上昇します。このような過程を繰り返すことで人工水晶が連続的に成長します。

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